气冷式罗茨真空泵是在普通罗茨真空泵的基础上增加了旁路气体冷却系统。外置冷却器使气体自动进行循环冷却转子与泵体。可以在高压差下连续运行。

罗茨真空泵的在较低的入口压力时具有较高的抽率，但不能单独使用，可与液环泵组成机组以提供更高的真空。

无油立式往复式真空泵，无油润滑。可获得洁净真空。

干式螺杆真空泵，工作腔内无需润滑油和密封液，可以应用到一般工业领域内的各种各样的真空处理工艺中。